场发射扫描电子显微镜 SEM4000Pro

产品描述:
SEM4000Pro是一款分析型热场发射扫描电子显微镜,配备了高亮度、长寿命的肖特基场发射电子枪。三级磁透镜设计,在EDS、EBSD、WDS等应用上具有明显优势。标配低真空模式,以及高性能的低真空二次电子探测器和插入式背散射电子探测器,可观察导电性弱或不导电样品。


产品特点
  • 配备高亮度、长寿命的肖特基热场发射电子枪

  • 分辨率高,30 kV 下优于 0.9 nm 的极限分辨率

  • 三级磁透镜设计,束流可调范围大,支持 200 nA 的分析束流

  • 无漏磁物镜设计,可直接观察磁性样品

  • 标配低真空模式,以及高性能的低真空二次电子探测器和插入式背散射电子探测器

  • 标配的光学导航模式,中文操作软件,让分析工作更轻松



产品参数

关键参数

分辨率

0.9 nm @ 30 kV,SE

2.5 nm @ 30 kV,BSE,30 Pa

1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa

加速电压

200 V ~ 30 kV(35kV可选)

放大倍率

1 ~ 1,000,000 x

电子枪类型

肖特基场发射电子枪

样品室

低真空模式

180 Pa

摄像头

双摄像头

(光学导航+样品仓内监控)

行程

X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm

T: -10°~+70°,R: 360°

探测器和扩展

标配

仓室内电子探测器(ETD)

低真空二次电子探测器(LVD)

插入式背散射电子探测器(BSED)

选配

能谱仪(EDS)

背散射衍射(EBSD)

插入式扫描透射探测器(STEM)

样品交换仓(4 寸 /8 寸)

轨迹球&旋钮板



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