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产品描述:
SEM4000Pro是一款分析型热场发射扫描电子显微镜,配备了高亮度、长寿命的肖特基场发射电子枪。三级磁透镜设计,在EDS、EBSD、WDS等应用上具有明显优势。标配低真空模式,以及高性能的低真空二次电子探测器和插入式背散射电子探测器,可观察导电性弱或不导电样品。
配备高亮度、长寿命的肖特基热场发射电子枪
分辨率高,30 kV 下优于 0.9 nm 的极限分辨率
三级磁透镜设计,束流可调范围大,支持 200 nA 的分析束流
无漏磁物镜设计,可直接观察磁性样品
标配低真空模式,以及高性能的低真空二次电子探测器和插入式背散射电子探测器
标配的光学导航模式,中文操作软件,让分析工作更轻松
关键参数 | 分辨率 | 0.9 nm @ 30 kV,SE |
2.5 nm @ 30 kV,BSE,30 Pa | ||
1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa | ||
加速电压 | 200 V ~ 30 kV(35kV可选) | |
放大倍率 | 1 ~ 1,000,000 x | |
电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
样品室 | 低真空模式 | 180 Pa |
摄像头 | 双摄像头 | |
(光学导航+样品仓内监控) | ||
行程 | X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm | |
T: -10°~+70°,R: 360° | ||
探测器和扩展 | 标配 | 仓室内电子探测器(ETD) |
低真空二次电子探测器(LVD) | ||
插入式背散射电子探测器(BSED) | ||
选配 | 能谱仪(EDS) | |
背散射衍射(EBSD) | ||
插入式扫描透射探测器(STEM) | ||
样品交换仓(4 寸 /8 寸) | ||
轨迹球&旋钮板 |
