北京极微测科技有限公司

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高分辨热场发射扫描电镜 SU3900SE/SE Plus SU3800SE/SE Plus

产品描述：
SU3900/SU3800 SE系列作为FE-SEM产品，配置超高分辨率与观察能力，而且不像部分SEM产品，受安装样品尺寸与重量的限制，此系列可以通过简单的操作实现数据采集。可用于钢铁等工业材料，汽车、航空航天部件等超大、超重样品的观察。

产品特点 产品参数 相关产品

产品特点

热场SEM支持低真空，搭载超大样品仓，可扩展实现更多功能

电子显微镜是进行材料形貌评价与分析的重要手段，而且直接观察样品的需求很常见。
SU3900/SU3800SE系列搭载牢固的多用途样品仓，对于非导电性样品，无需进行导电处理（金属镀膜）；对于超大超重样品，无需进行切割等破环处理，可以直接安装到样品台，实现样品的多角度观察。

 

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观察肉眼看不到的细节，更高分辨率、极表面观察

此系列搭载新开发的热场电子枪，无论是在高加速电压还是低加速电压区域，均可获得超高分辨率图像。
高端型号（SE Plus）可以满足对样品极表面的观察需求。
标配低电压高灵敏度背散射电子探测器，可切换采集信号获得成分和凹凸信息。
与选配的UVD探测器组合使用，可以获得样品多种类型信息，实现多种模式观察。

 

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自动化、辅助功能让操作更便捷

SU3900/SU3800 SE系列配备自动光学系统调整功能，可大量简化操作流程。
此外，使用选配功能【EM Flow Creator】，可以自动连续获取图像。
将条件设置（如放大倍率，样品台位置等）、调整对焦/对比度等SEM功能转化为可组合的模块，生成一系列观察程序。每个客户都可以创建自己的观察程序。
通过拖拽模块，可以像流程表一样创建程序。通过执行创建的程序，即可实现自动观察。

 

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产品参数

                                 项目

SU3900SE/SE   Plus

SU3800SE/SE   Plus

电子光学系统

二次电子分辨率

0.9 nm@30 kV

2.5 nm@1 kV

1.6 nm@1 kV(*1)

放大倍率

5～600,000×

电子枪

ZrO热场发射(肖特基热场发射)

加速电压

0.5 kV～30 kV

着陆电压(*1)

0.1 kV～2 kV

束流

150 nA

真空系统

低真空模式

6～150 Pa

探测器

标配探测器

二次电子探测器(SED)

顶探测器(TD) (*2)

5分割背散射电子探测器(BSED)

选配探测器

高灵敏度低真空探测器(UVD)




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