北京极微测科技有限公司

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场发射扫描电镜 SEM5000Pro

产品描述：
SEM5000Pro是低电压高分辨的热场发射扫描电镜，使用了高压隧道技术（Super-Tunnel）、无交叉电子光路、静电电磁复合物镜设计，减少了空间电荷效应，降低系统像差，实现了 1.2 nm@1 kV 的分辨能力。低压下的成像分辨能力提升，可对不导电样品或半导体样品进行直接观察，有效降低了样品辐照损伤。

产品特点 产品参数 相关产品

产品特点

  • 分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像

     

  • 电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品


  • 高压隧道技术(SuperTunnel) ，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证


  • 电子光路无交叉，有效的降低系统像差，提升分辨能力


  • 水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性


  • 磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换




产品参数

关键参数

分辨率

0.8 nm @ 15 kV，SE

0.7  nm @ 15 kV（减速模式）
  1.2 nm @ 1.0 kV，SE

0.7 nm @ 35 kV STEM

加速电压

20 V ～ 30 kV（可升级35kV）

放大倍率

1 ～ 2,500,000 x

电子枪类型

肖特基场发射电子枪

样品室

摄像头

双摄像头
  （光学导航+样品仓内监控）

样品台行程

X: 110 mm，Y: 110 mm，Z: 50 mm
  T: -10°～ +70°, R: 360°

探测器和扩展

标配

镜筒内电子探测器：Inlens
  仓室内电子探测器：ETD

选配

插入式背散射电子探测器（BSED）
  插入式扫描透射探测器(STEM)

低真空二次电子探测器（LVD）
  能谱仪（EDS）

背散射衍射（EBSD）

样品交换仓（4 寸 /8 寸）

轨迹球&旋钮板

软件

语言

中文SEM软件

操作系统

Windows

导航

光学导航、手势快捷导航、轨迹球（选配）

自动功能

自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散




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