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产品描述:
DB550是一款优雅全能的纳米分析和制样工具,低电压高分辨的电子镜筒,保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒提供了高稳定、高质量的离子束流,保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器,一体化设计的控制软件,为您打造全能纳米分析和加工中心。
高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒,高分辨率成像,兼容磁性样品
“承影”离子镜筒,高稳定、高质量的离子束流,用于高质量纳米加工和TEM制样
样品仓内压电陶瓷驱动的机械手,集成式控制方式,操作到位
自主可控,扩展性强,集成化设计的离子源更换时间快,售后服务

"承影"离子镜筒
技术特点
分辨率:3 nm@30 kV
探针电流:1 pA~65 nA
加速电压范围:500 V~30 kV
使用寿命:≥1000小时
长时间稳定性:72小时不间断工作

纳米机械手
技术特点
仓内安装方式
全压电驱动
编码精度≤10nm
最大移动速度2mm/s
集成式控制方式

离子束-电子束协同

气体注入器
单气体注入
多种气源可选
伸缩距离≥35 mm
重复定位精度≤10 um
加热温度控制精度≤0.1℃
加热温度范围:室温~90℃
集成式控制方式
