聚焦离子束电子束双束显微镜 DB550

产品描述:
DB550是一款优雅全能的纳米分析和制样工具,低电压高分辨的电子镜筒,保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒提供了高稳定、高质量的离子束流,保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器,一体化设计的控制软件,为您打造全能纳米分析和加工中心。


产品特点
  • 高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒,高分辨率成像,兼容磁性样品

  • “承影”离子镜筒,高稳定、高质量的离子束流,用于高质量纳米加工和TEM制样

  • 样品仓内压电陶瓷驱动的机械手,集成式控制方式,操作到位

  • 自主可控,扩展性强,集成化设计的离子源更换时间快,售后服务



产品参数


"承影"离子镜筒

技术特点

分辨率:3 nm@30 kV

探针电流:1 pA~65 nA

加速电压范围:500 V~30 kV

使用寿命:≥1000小时

长时间稳定性:72小时不间断工作




纳米机械手

技术特点

仓内安装方式

全压电驱动

编码精度≤10nm

最大移动速度2mm/s

集成式控制方式



离子束-电子束协同









气体注入器

单气体注入

多种气源可选

伸缩距离≥35 mm

重复定位精度≤10 um

加热温度控制精度≤0.1℃

加热温度范围:室温~90℃

集成式控制方式



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