北京极微测科技有限公司

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产品分类
通用测试仪器

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射频测试仪器

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半导体测试设备

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光学显微镜 电子显微镜 协议分析仪

超高分辨场发射扫描电子显微镜 SEM5000X

产品描述：
SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电镜，电子光学镜筒设计优化，综合像差降低了 30%，从而达到了0.6 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高稳定性，可在先进纳米结构和纳米材料的研究、高端芯片半导体的研发制造等领域发挥其性能优势。

产品特点 产品参数 相关产品

产品特点

  • 超高分辨率成像，达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

  • 样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景

  • 高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响

  • 支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求

 



产品参数

关键参数

分辨率

0.6 nm @ 15 kV，SE

1.0 nm @ 1 kV，SE

加速电压

20 V ~ 30 kV

放大倍率

1 ~ 2,500,000 x

电子枪类型

肖特基场发射电子枪

样品室

摄像头

双摄像头（光学导航+样品仓内监控）

样品台行程

X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm

T: -10°~+70°，R: 360°

探测器和扩展

标配

镜筒内电子探测器（Inlens）

仓室内电子探测器（ETD）

选配

插入式背散射电子探测器（BSED）

插入式扫描透射探测器（STEM）

低真空二次电子探测器（LVD）

能谱仪（EDS）

背散射衍射（EBSD）

样品交换仓（4寸和8寸可选）

轨迹球&旋钮板

双减速技术（Duo-Dec）

软件

语言

中文

操作系统

Windows

导航

光学导航、手势快捷导航，轨迹球（选配）

图像记录

TIFF、JPG、PNG、BMP等

自动功能

自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散等



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