场发射扫描电镜 SEM4000X

产品描述:
SEM4000X是一款稳定通用,灵活高效的场发射扫描电镜。分辨率可达1.9nm @1.0kV,轻松应对各种类型样品的高分辨拍样挑战,可升级超级减速模式,进一步提升低压分辨率。同时采用了多探测器技术,镜筒内电子探测器(UD)可探测SE和BSE信号,同时具有高分辨率性能。仓内电子探测器(LD)采用了晶体闪烁体和光电倍增管,具备更高的灵敏度,图像具有很好的立体感。中文操作软件,简单易用,丰富的自动化功能,如自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散、自动对中等等,可快速获取高分辨图像。


产品特点



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产品参数

关键参数

分辨率

0.9   nm@30 kV, SE

1.2   nm@15 kV, SE

1.9   nm@1 kV, SE

1.5   nm@1 kV(超级减速)

1.0   nm@15 kV(超级减速)

加速电压

200   V~30 kV

放大倍率

1~1,000,000×

电子枪类型

肖特基场发射电子枪

样品室

低真空模式

/

摄像头

双摄像头(光学导航+样品仓内监控)

XY行程

110   mm

Z行程

50   mm

T行程

-10°~+70°

R行程

360°

探测器

镜筒内电子探测器

UD-BSE/UD-SE

仓室内电子探测器

LD

插入式背散射电子探测器(BSED)

○

插入式扫描透射电子探测器(STEM)

○

低真空二次电子探测器(LVD)

○

能谱仪(EDS)

○

背散射衍射(EBSD)

○

扩展

样品交换仓(4寸/8寸)

○

旋钮板&轨迹球

○

双减速技术(Duo-Dec)

/

超级减速技术

○

软件

操作软件

Windows操作系统,中文SEM软件

导航

光学导航、手势快捷导航、轨迹球(选配)

自动功能

自动亮度对比度、自动

●标配 ○选配 /无



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