北京极微测科技有限公司

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扫描电子显微镜 SU3800/SU3900

产品描述：
日立推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性，结合众多的自动化功能，可发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察。

产品特点 产品参数 相关产品

产品特点

①SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察

■样品台可搭载超大/超重样品

  • 通过更换样品提示，可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品

  • 选配样品交换仓，可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品，大大提高了工作效率

  • 具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度*

  • 红外CCD探测器，提高了样品台移动的安全性

■支持全视野移动。SEM MAP支持超大样品的全视野观察

  • 与GUI联合，可配备样品仓室导航相机

  • 覆盖整个可观察区域

  • 支持360度旋转


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②随着各种自动化功能的强化，操作性能得到了进一步优化。

■一个鼠标就能够轻松操作的简约GUI

■各种自动化功能

  • 自动调整算法经改良后，等待时间减少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)

  • 提高了自动聚焦精度

  • 搭载Intelligent Filament Technology（IFT）

■Multi Zigzag，可实现多区域的大视野观察

■Report Creator，可利用获得的数据批量生成数据报告


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③可提供满足测试需求的应用解决方案

■可满足多种观察需求的探测器

  • 搭载高灵敏度UVD*，支持CL观察

  • 高灵敏度半导体式背散射电子探测器，切换成分/凹凸等多种图像

■配备了多功能超大样品仓，可以搭载多种配件

■SEM/EDS一体化功能*

■三维显示测量软件 Hitachi Map 3D*

■支持图像测量软件Image pro

*配件


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产品参数

ITEM

SU3800

SU3900

二级电子分解能

3.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、高真空模式）

15.0nm（加速电压1kV、WD=5mm、高真空模式）

背散射电子分解能

4.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、低真空模式）

倍率

×5～×300,000（照片倍率*1）

×7～×800,000（实际显示倍率*2）

加速电压

0.3kV～30kV

低真空度设定

6～650 Pa

图像位移

±50µm（WD＝10mm）

样品尺寸

200mm直径

300mm直径

样品台

X

0～100mm

0～150mm

Y

0～50mm

0～150mm

Z

5～65mm

5～85mm

R

360°连续

T

－20°～+90°

可观察范围

130mm直径（R并用）

200mm直径（R并用）

可观察高度

80mm（WD=10mm）

130mm（WD=10mm）

电机驱动

5轴电机驱动


*1.指正放大倍率为127 mm x 95 mm（4x5照片尺寸）的显示尺寸。

*2.放大倍率为509.8 mm x 286.7 mm（1,920 x 1,080像素）的显示尺寸。



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