]高速扫描电子显微镜 HEM6000_电子显微镜_分析仪器设备_产品中心

产品描述：
HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了超快的数据采集和成像速度，同时保证了纳米级分辨率。面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。

产品特点产品参数相关产品

产品特点

高速自动化

全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的 5 倍

大场低畸变

跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变

低压高分辨

样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率

产品参数

关键参数	分辨率		1.3nm@3 kV，SE ; 1.5nm@1 kV，SE
			1.9nm@ 3 kV, BSE; 2.3nm@ 1 kV, BSE
			0.9nm@30kV，STEM
	加速电压		100 V~6 kV(减速模式)
			6 kV~30 kV(非减速模式)
	放大倍率		66~1,000,000x
	电子枪类型		高亮度肖特基场发射电子枪
	物镜类型		浸没式电磁复合物镜
	偏转系统		静电偏转器
样品装载系统	真空系统		全自动控制，无油真空系统
	样品监控		样品仓监控水平摄像头；换样仓监控垂直摄像头
	样品最大尺寸		直径4英寸
	样品台	类型	电机驱动3轴样品台（*可选配压电驱动样品台）
		行程	X、Y轴：110mm； Z轴：16mm；
		重复定位精度	X轴：±0.6μm； Y轴：±0.3μm；
	换样方式		全自动控制
	换样时间		＜15 min
	换样仓清洗		全自动控制等离子清洗系统
图像采集与处理	驻点时间		10 ns/pixel
	图像采集速度		2*100 M pixel/s
	图像大小		24K*24K

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