北京极微测科技有限公司

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光学显微镜 电子显微镜 协议分析仪

热场式场发射扫描电镜 SU5000

产品描述：
创新的“EM Wizard”界面更加直观，仅需要“点击”即可得到理想的图像。超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平。

产品特点 产品参数 相关产品

产品特点

高性能电子光学系统

  • 二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)＊

  • 高灵敏度: PD-BSD, 超强的低加速电压性能，低至100 V成像

  • 大束流(>200 nA): 便于微区分析


性能优异

  • 压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配备高灵敏度低真空探测器(UVD)＊

  • 开仓室快速简单换样(样品尺寸: Φ 200mm x 80 mmH)

  • 微区分析: EDS, WDS, EBSD等等

*：选配附件



产品参数

项目

内容

分辨率

1.2   nm @ 30 kV
  3.0 nm @ 1 kV
  2.0 nm @ 1 kV 减速模式*1
  3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2

放大倍率

10   - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)
  30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)

电子光学系统

电子枪

ZrO   /W 肖特基式电子枪

加速电压

0.5   - 30 kV (0.1 kV 步进)

着陆电压

减速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1

最大束流

>   200 nA

探测器

低位二次电子探测器

低真空模式*2

真空范围: 10 - 300 Pa

*1：减速功能（包含高分辨率顶位二次电子探测器）

*2：低真空功能（包含5分割半导体探测器）

*3：空压机(本地采购)



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