北京极微测科技有限公司

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B1500A 半导体器件参数分析仪

产品描述：
Keysight B1500A 半导体参数分析仪是一款一体化器件表征分析仪，能够测量 IV、CV、脉冲/动态 IV 等参数。 主机和插入式模块能够表征大多数电子器件、材料、半导体和有源/无源元器件。 B1500A 模块化体系结构可以根据需要灵活升级。

产品特点 产品参数 相关产品

产品特点

特点

  • 可以在 CV 和 IV 测量之间快速切换，无需重新连接线缆

  • 能够捕获其他传统测试仪器无法捕获的超快速瞬态现象

  • 能够检测 1 kHz 至 5 MHz 范围内的多频交流电容测量值

  • 配有直观的 15 英寸触摸屏界面，无需借助外部计算机，即可进行数据分析

  • 一台 B1500A 主机中拥有多达 10 个插槽，您可以灵活选择为其配备的测量模块

  • 使用界面直观的 EasyEXPERT group+ 软件，享受 15 英寸宽触摸屏的便捷体验

 

B1500A SMU 支持轻松和IV 测量

源表模块（SMU）将用于 IV 测量的所 有必要资源都整合到紧凑型模块中。这 些包括电流源、电压源、电流表和电压 表，以及在这些功能之间轻松切换的 能力。这些功能的紧密整合使 B1500A SMU 具有极高的性能水平，电流测量 分辨率可达到亚 pA 级。此外，SMU 拥 有内部反馈机制，因此可保持稳 定的输出；还拥有一致性（极限线）特 性，可保护器件不会因为电压过高或电 流过大而受损。所有 B1500A SMU 都支 持通过三轴连接与有源接地相连，进行 小电流测量；并支持 4 线（Kelvin）力和 传感连接，进行低电阻测量和全部 4 象 限操作。

 

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多种功能增强 SMU 能力

B1500A SMU 具有多种通用测量功能。 它们既可进行基础的单点测量，又能执 行高达 10,001 点的扫描测量。它们还 能生成 50 μs 的电压和电流脉冲， 并每隔 100 μs 测量数量随时间的变化。 此外，B1500A SMU 可输出和测量高达 200 V 和 1 A 的电压和电流，并能够以 0.5 μV 和 0.1 fA 的分辨率测量电压和电 流。其他先进特性（例如快速自动调整 量程和大电容负载稳定化）可进一步帮 助改善性能。B1500A 支持多种 SMU， 可以非常容易地混合和匹配不同类型的 SMU，满足广泛的测试需求。B1500A 的 SMU 可满足几乎所有的器件和材料 测试要求。

 

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0.1 fA 测量与 IV-CV 无缝切换能力结合

B1500A 的 MPSMU 和 HRSMU 本身分 别提供 10 fA 和 1 fA 的测量分辨率。然 而，如果您需要更出色的小电流测量性 能，可以将两者之一与自动传感和开关 单元（ASU）结合使用，这样测量分辨 率可以达到 0.1 fA。ASU 提供了额外的 优势，使用户能够在 SMU 测量与通过 可用 BNC 输入进行的测量之间切换。 ASU 的 BNC 输入可与 B1500A 的 MFCMU 模块一起使用，进行低成本 CVIV 切换（需要 2 个 SMU 与 ASU 一起使 用），也可与其他外部仪器配合使用。

 

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具有泄漏补偿能力的准静态 CV（QSCV） 测量

表征 MOSFET 准静态 CV（QSCV）响应的能力对于了解它在 重要反转区域中的特性至关重要，因为高频 CV（HFCV）测 量无法提供这方面的信息。B1500A 可与其 HPSMU、MPSMU 和 HRSMU 配合，支持 QSCV 测量功能，无需使用任何额外 的硬件。QSCV 功能可对栅极泄漏电流进行补偿，并执行偏置 校准，消除测量结果中的寄生电容。

 

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在 CV 和 IV 测量之间切换

由于 CV 和 IV 测量采用的电缆连接方式 不同，手动切换这两种测量可能非常麻烦 和耗时。为解决这个问题，B1500A 可选 配 SMU CMU 单元（SCUU）和保护 开关单元（GSWU），在不影响性能的条 件下在 CV 和 IV 测量之间流畅切换。虽 然 GSWU 是选件，不过它可以在电容测 量期间使保护端短路，从而稳定电缆电 感并改善电容测量精度。SCUU 还配有内 置直流偏置装置，使连接的 SMU 可用作 MFCMU 的偏置源，进行直流偏置高达 100 V 的电容测量。这些功能使您只需使 用一台仪器便可快速执行 HFCV 和 QSCV 测量。

 

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产品参数


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