北京极微测科技有限公司

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SG-O 商用Wafer级图像传感器晶圆测试仪

产品描述：
SG-O 是一款 CIS / ALS / 光传感器晶圆测试仪，结合了高均匀度光源和半自动晶圆探针台。 高均匀度光源可提供 400nm 至 1700nm 的连续白光光谱，并在多个不同波长下输出具有一定半高宽 （FWHM） 的单色光。

产品特点 产品参数 相关产品

产品特点

高均匀度光源

  • 宽广的光谱范围，涵盖紫外光至短波红外光。

  • 高度均匀性，在50毫米x 50毫米区域内均匀度优于98%。

  • 超稳定的光强度，10 < 小时内不稳定为 0.2%

  • 高光强度动态范围，可达140dB。


可程式化自动探针台

  • 可处理200毫米至10毫米晶圆或晶粒

  • 适用于准确可靠的直流 / 电容-电压、射频量测

  • 稳定且功能齐全的显微镜系统

  • 整合式硬件控制面板

  • 自动晶圆加载器

  • 教学式智能晶圆图谱


宽温且低噪声夹盘

  • 模块化夹盘

  • 宽广的温度范围，从 -80°C 到 180°C

  • 先进的 CDA 温度控制技术

  • 具备高升温速率和高温稳定性

  • 低噪声设计，适用于 CIS/ALS/光传感器晶圆测试



产品参数


高均匀度光源

  • 光谱范围：400nm 至 1700nm

  • 色彩对比温度：3000K 至 5200K

  • 均匀照明面积：42mm x 25mm（200mm 工作距离处）>

  • 照明均匀度：优于98%

  • 短期光源不稳定度：1 小时内 ≤ 1%

  • 长期光源不稳定度：10 小时内 ≤ 1%

  • 待测元件与光学元件之间的工作距离：≥ 200 毫米工作距离

  • 单色光产生：

  1. 中心波长，半峰宽为 10nm：420nm、450nm、490nm、510nm、550nm、570nm、620nm、670nm、680nm、710nm、780nm、870nm

  2. 中心波长，半峰宽为 25nm：1010nm、1250nm、1450nm

  3. 中心波长，半峰宽为45±5nm：815nm

  4. 中心波长，半峰宽为50nm： 1600nm

  5. 中心波长，半峰宽为60±5nm：650nm

  6. 中心波长，半峰宽为70±5nm： 485nm, 555nm

  7. 中心波长，半峰宽为100±5nm：1600nm

    • 带外透光率 ≤ 0.01%

    • 带通区峰值传输 ≥ 80%

    • 中心波长容差：（a）≤±2nm; (b)~(g) ≤ ±5nm

    • FWHM 容差：（a）≤±2nm; (b)~(g) ≤ ±5nm

  • 可变衰减器：电脑控制，3位数分辨率，至少1000步进

  • 晶圆尺寸能力：200mm、150mm、100mm晶圆和尺寸大于 1cm x 1cm 的单芯片

  • 晶圆处理：单晶圆，手动进料型

  • 半自动化：一步手动对准教和自动模步进

  • XYZ 三轴平台

  • 卡盘 XY 载物台行程：210mm x 300mm

  • 卡盘 XY平台分辨率：优于 0.5um

  • 夹头 XY 平台精度：优于 2.0um

  • 卡盘 XY 平台速度：慢：10 微米/秒，快：50 毫米/秒

  • Chuck Z 载物台行程：50mm

  • Chuck Z 平台分辨率：0.2um

  • 夹盘 Z 轴平台精度：±2.0um

  • Theta 平台

  • Theta 载物台行程：± 5 度运动范围

  • Theta 分辨率：优于 0.01 度

  • Theta 精度：0.1 度

  • 卡盘

  • 卡盘平整度 ≤ 10um

  • 卡盘热操作：-60°C 至 200°C

  • 25°C 时的卡盘泄漏： 25°C 时在 10V 偏压下每个电压 ≤ 20fA

  • 卡盘剩余电容 ≤ 95fF

  • 探针卡

  • 探针卡尺寸：4.5 英寸至 8 英寸长

  • 探针卡座与压板之间的间隙：≥ 7.5mm

  • 微型腔室

  • EMI 屏蔽：在 1kHz 至 1 MHz 范围内 ≥ 30dB

  • 系统交流噪声：≤ 5 mVp -p

  • 微型定位器

  • 显微镜

  • 隔振台

  • 光谱范围：400nm 至 1600nm

  • 波长分辨率：400nm 至 1000nm 增加步 < 长 1nm; 1000nm 至 1600nm 增加步长 < 3.5nm

  • 校准：NIST 可追溯校准证书



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